Theo kết cấu thì có một số loại máy đo CMM như sau:
- Máy đo CMM contura kiểu tay gấp: loại này thường là loại máy nhỏ cầm tay, cho phép đầu do xoay đặt theo nhiều hướng khác nhau.
- Máy đo CMM kiểu cầu: Có trục đo được lắp thẳng đứng với một dầm ngang đặt trên 2 ụ đỡ, loại này giúp mở rộng phạm vi đo của sản phẩm cần đo( Máy đo CMM kiểu cầu theo trục X).
- Máy đo CMM kiểu chìa đỡ: Trục đo được đỡ bởi một kết cấu đỡ trục.
- Máy đo CMM kiểu dàn: Có kết cấu khung treo trên các ụ đỡ để có thể mở rộng phạm vi trên các vật được đo, các máy đo CMM kiểu dàn có cấu trúc gần giống máy đo CMM kiểu cầu.
- Máy đo CMM kiểu trục ngang: Trục lắp đầu dò được đặt ngang chìa ra, một đầu được gắn vào giá đỡ thẳng đứng có thể di chuyển được.
Theo hệ thống điều khiển thì có 4 loại máy đo CMM như sau:
- Dòng máy đo CMM manual: được dẫn động bằng tay
- Dòng máy đo CMM được dẫn động bằng động cơ với quá trình dò tự động
- Dòng máy đo CMM được điều khiển trực tiếp bằng máy tính
- Dòng máy đo CMM được liên kết với CAD, CAM, FMS...
Xem thêm: kính hiển vi kết nối máy tính